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Asahi Glass Co., Ltd Nippon Sheet Glass HOYA Glass Nippon Electric Glass

ニューガラスとはICフォトマスク




熱膨張率がゼロに近い合成石英ガラスなどを超精密研磨した基板上に、光を遮るための金属薄膜でできた電子回路パターンが描かれているのがICフォトマスクです。この回路パターンを最終的にICの基板となるシリコンウェハー上に光で縮小転写します。写真でいえば、ネガフィルムの役目をします。 半導体の高密度次世代デバイスの開発に向け、高精度品への需要が高まっており、5インチサイズで表面粗さ100万分の1mm、平面度1000万分の1mm以内という精度が要求されています。

マイクロレンズアレイ   合成石英ガラス