本講演では、SPring-8の放射光X線CT技術が粉体成形で生じる内部欠陥を制御し、セラミックス部材の信頼性を高めるプロセス技術の開発に役立つことを示す。 つぎに、放射光X線ナノCTを用いた電子デバイスの３次元構造解析が性能や耐久性の向上、高信頼性設計に役立つ事例として、積層セラミックスコンデンサー(MLCC)の電極形成プロセス観察について紹介する。最後に、ガラスセラミックスを例に取り上げて、強度以外の損傷許容性、耐摩耗性、耐衝撃性などを兼ね備えた靱性強化機構の解明にもX線CTが有用であることを示す。
　

ガラスのレーザスライシングとは、材料内部に超短パルスレーザを集光し、微細な内部改質に伴う応力を利用して、き裂伝播を制御する手法である。これまでに鏡面状態での光学ガラスレンズの一発成形を達成したが、その詳細な加工メカニズムは明らかになっておらず、試行錯誤的な実験の積み重ねでしか加工を制御できていなかった。そこで複屈折を利用したガラス内部の応力評価を行い、その応力状態から加工メカニズム解明を試みた。 　　　

脈理とはガラス内部で周辺と屈折率差のある状態(ムラ)の部分を指す。スマートフォンや一眼レフカメラの画像に写りこむフレアやゴーストなどの撮像ノイズは、カメラやレンズの条件設定だけでなく、カメラ内部の光学フィルターに発生している脈理が原因とされるケースがある。この脈理を検査する際にどのような光学装置を用いるべきか、実例の説明と、脈理検査の新しい市場ニーズをご紹介する。