タイトル: Serial No.141-143

[半導体サポートガラス]
各種半導体の支持基板。さまざまな熱膨張を有するガラスがある。高い平滑性や形状精度が必要であることに加え，半導体製造プロセスで破損しないよう，高強度である必要がある。［写真提供：日本電気硝子株式会社］